氮化硅陶瓷的燒結方式

反應燒結

把Si粉或Si粉與Si3N4粉的混合物成型後進行預氮化，再在1400℃左右完全氮化

燒結無收縮，使用於製造形狀複雜，尺寸精確的零件，成本低，不需要添加劑

氮化時間較長

熱壓燒結

對氮化硅粉末和燒結助劑在高温下單向加壓燒結

所得陶瓷與反應燒結相比，強度高，密度大，緻密度高，製造週期短。

製造成本高，燒結設備複雜，機械加工困難

常壓燒結

高純氮化硅粉末與少量燒結助劑混合，通過燒結、成型等工序製備

可獲得形狀複雜，性能優良的陶瓷

燒結收縮率較大，一般為16-26%，製品易開裂變形

氣壓燒結

Si3N4壓坯在5-12Mpa的氮氣在1800-2100℃下進行燒結

所得陶瓷緻密度高，高韌性，高強度，可製備形狀複雜的製品，適合大規模生產

燒結温度高